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分析型扫描电子显微镜的结构

更新时间:2024-01-29      点击次数:293
分析型扫描电子显微镜的能够观察材料表面的微观结构、形态、晶界、相界等,分析材料的表面粗糙度、颗粒大小及分布等,这些信息对于了解材料的性质、性能和制备工艺等具有重要意义。
结构:
电子光学系统:包括电子枪、电磁透镜和扫描线圈等部件。电子枪是发射电子的源,电磁透镜则用于汇聚电子并调节电子束的聚焦状态,而扫描线圈则使电子束在样品表面作有规则的扫描动作。
信号探测处理和显示系统:在电子束与样品相互作用的过程中,会产生各种信号,如二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线等。这些信号被相应的探测器接收,转换为电信号,再经过放大和处理后传输到显像管或计算机系统,最终以图像的形式显示出来。
真空系统:为了确保电子束的正常运行和避免污染,分析型扫描电子显微镜需要在高真空环境下工作。真空系统的作用是排除空气,创造一个清洁的工作环境。
冷却循环水系统:为了防止设备过热,分析型扫描电子显微镜通常需要配备冷却循环水系统。该系统能够将设备运行过程中产生的热量带走,保证设备的正常工作。
电源供给系统:为分析型扫描电子显微镜提供所需的电源,包括供电、控制和调节等电路。
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